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第三代半導體碳化硅襯底關鍵技術研發及產業化項目竣工環境保護驗收監測報告表

發布者：alan    發布時間：2024-10-24      瀏覽次數：0

第三代半導體碳化硅襯底關鍵技術研發及產業化項目竣工環境保護驗收監測報告表

江蘇超芯星半導體有限公司租賃江北新區集成電路產業化基地B區5號樓A座已建廠房，利用碳化硅單晶制備、切割、研磨、拋光及晶體、晶片檢測儀等設備，建設碳化硅晶體生長及加工生產線，項目建成后形成年產碳化硅襯底3萬片的生產能力和規模。該項目于2024年5月28日取得《關于第三代半導體碳化硅襯底關鍵技術研發及產業化環境影響報告表的批復》（寧新區管審環表復〔2024〕42號）。項目于2024年5月開始生產車間施工裝修、設備安裝與調試。2024年7月工程竣工，并開始試生產。目前工程能夠穩定運營。

根據相關規定主動公開建設項目竣工環境保護驗收監測報告表全本。公示內容：竣工環境保護驗收監測報告表、驗收意見。自公示發布日起，20個工作日止。

公示附件：第三代半導體碳化硅襯底關鍵技術研發及產業化項目竣工環境保護驗收監測報告表、超芯星竣工環境保護自主驗收意見 提取碼: 5h9n